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| 型号 |
FPGAM-EX5A |
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小型工业准分子激光器E5A和E5AR（加固型）在微型准分子激光器基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长，激光能量输出和平均功率也高于标准的准分子激光器。非常适合需要高占空比和最少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(eCl),351nm(eF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达8W，193nm激光功率高达4W。
小型工业准分子激光器E5A/AR规格
工作物质 F2 ArF KrF eCl eF
波长nm 08 351
zui大能量mJ 1.5/2.5* 14 20 12 8
峰值功率MW 0.30 2.0 2.5 1.25 0.8
平均功率W@250Hz 0.3/0.4 3.0 5.0 2.5 1.4
平均功率W@500Hz 0.5 6.0 8.0 4.0 2.5
平均功率W@1000Hz 1.0 9 14 6.0 5.0
zui大能量mJ @2000Hz 0.7 0.9
平均功率W@2000Hz 1.0 1.4
动态气体寿命@50%能量 10E6 12E6 18E6 20E6 15E6
50%能量保存期 10天 15天 30天 >2个月 30天
脉宽ns 8-10
稳定性 <2%标准偏差
激光管寿命 50亿脉冲
光束尺寸，mm 3 6
发散角mRad全角 1 2
冷却 空气/水冷
定时抖动 2ns标准偏差
重量 15kg 250/500Hz，35kg 1000/2000Hz
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