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| 型号 |
FPGAM-EX100 |
运转方式 |
重复脉冲式 |
| 激励方式 |
电激励式 |
波段范围 |
近紫外 |
| 输出波长 |
157nm(F2) |
输出波长 |
193nm(ArF) |
| 输出波长 |
248nm(KrF) |
输出波长 |
308nm(eCl) |
| 输出波长 |
351nm(eF) |
产地 |
www.felles.cn/zhunfenzi.html |
| 厂家 |
www.felles.cn/zhunfenzi.html |
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这款高功率准分子激光器是按照工业标准打造的工艺级准分子激光器,具有良好的激光稳定性和激光寿命。可提供157nm波长,248nm激光功率高达68W，193nm激光功率高达32W。准分子激光器的动态气体寿命和静态气体寿命高达30亿次脉冲.可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(eCl),351nm(eF)波长,脉宽15~22ns,重复频率60Hz/125Hz/250Hz/500HZ,248nm激光功率高达68W，193nm激光功率高达32W。
(上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）
高功率准分子激光器特征
?高功率准分子激光器
?2ns低触发抖动
?极好的脉间稳定性
?气体寿命长
?长寿命光学
?电晕预电离技术
?陶瓷/金属激光管封装技术
高功率准分子激光器应用
?替代医用激光器
?脉冲激光电离激发
?准分子激光微加工
?精密标记
?屈光手术
?拉曼光谱
高功率准分子激光器规格
参数 F2 ArF KrF eCl eF
波长nm 08 351
zui大能量mj 10 75 125 65 60
平均功率W@125Hz 1 8 12 6.5 6
平均功率W@250Hz 2
动态气体寿命 10E7 15E6 20E6 20E6 20E6
静态气体寿命 15天 60天 90天 >6个月 90天
（50%脉冲能）
重复频率 60/125/250/500 Hz
脉宽 15-22ns
光束尺寸 10 x 5 mm V x H
稳定性 <2%标准偏差
发散角 0.8 x 1.5 mRad全角度
冷却 空气/水
激光管寿命 20亿脉冲
电源 100-240 VAC, 15 Amp
13820163359