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| 型号 |
FPGAM-EX50LN |
运转方式 |
重复脉冲式 |
| 激励方式 |
电激励式 |
波段范围 |
近紫外 |
| 光路径 |
内光路 |
输出波长 |
157 193 248 308 351 |
| 产地 |
www.felles.cn/zhunfenzi.html |
厂家 |
www.felles.cn/zhunfenzi.html |
窄线宽准分子激光器是专门为光谱学应用设计的窄光谱带宽准分子激光器,非常适合光刻,激光计量,荧光光谱,拉曼光谱,FBG等应用。
窄线宽准分子激光器采用稳定的非选择性谐振腔提供纯净光谱输出,例如ArF准分子激光器的带宽约500pm,我们还可以在谐振腔内插入波长色散元件提供更窄线宽的表现，比如光谱线宽可到0.08pm,具有更好的相干性能。
(上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）
窄线宽准分子激光器E50LN采用超级INVAR稳定谐振腔技术获得稳定的激光性能,248nm激光的相干长度可达7cm，并且具有良好的指向稳定性,非常适合长相干长度的激光激光应用，比如FBG制造.
这款窄线宽准分子激光器采用一系列创新性技术,包括电晕预电离技术，全金属/陶瓷设计，提供超长静态气体寿命和动态气体寿命。这款准分子激光器还采用内置真空泵和卤素过滤器,不需要额外的真空器件即可独立工作,
窄线宽准分子激光器可以通过计算机配套软件控制,软件可自动控制稳定激光输出，可提示用户激光器寿命和维护时间。
网页上的价格是参考价格，未必准确，准确的价格信息请联系我们索取。
窄线宽准分子激光器规格参数E50LN Specifications
| 工作物质 | F2 | ArF | KrF | eCl | eF |
| 中心波长 nm | 157 | 193.3 | 248.35 | 308-311 | 351, 533 |
| zui大能量mJ. <1pm |
| 2 | 4 | 2 | 2 |
| zui大能量mJ. <0.35pm | 1 Line | 0.75 | 2 |
|
|
| 波长调谐范围 pm |
| +/- 200 | +/-200 | N/A | |
| 平均功率@125Hz |
| 0.30 | .25 | 0.3 | 0.3 |
| 平均功率 @250Hz |
| 0.5/1 | .5/1 | 0.50 | 0.5 |
| 平均功率@500Hz |
| 1/2 | 1/2 | 1.0 |
|
| 功率稳定性 % | Call | <3% | |||
|
动态气体寿命 （50%脉冲能量）
| 10E6 | 12E6 | 15E6 | 20E6 | 15E6 |
| 静态气体寿命
（50%脉冲能量）
| 10 days | 20 days | 30 days | 90 Days | 30 Days |
| 脉宽, ns |
| ||||
| 光束直径, mm | 9 4 | ||||
| 发散角, mRad （全角） | 0.8 1.6 | ||||
| 激光管寿命 | 2-3 Billion Pulses | ||||
| 窗口寿命 | 200E6 | >500E6 | >500E6 |
|
|
| 制冷 | 空气/水 | ||||
其它窄线宽准分子激光器 E5ALN Specifications
| 工作物质 | ArF | KrF |
| 激光波长, nm | 193 | 248 |
| zui大能量, mJ | 5 | 15 |
| 线宽 pm | 25 | 20 |
| 光束形状 | 高斯光束 | |
| 波长调谐 | +/-200pm | +/-200pm |
| 平均功率W @ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
| 平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
| zui大重复频率. Hz | 25/250 | |
| 稳定性 | <3% 1 Sigma | |
| 静态气体寿命 50%能量 | 3 days | 10 days |
| 脉宽 nS | 8 | |
| 稳定性 | <3% One Sigma | |
| 激光管寿命 | 1000 Million Pulses | |
| 光束尺寸, mm | 3 6 | |
| 发散角（全角）, mRad | 1 2 | |
| 制冷 | AIR | |
| 抖动 | 2nS | |
| 重量 | 16kg | |
其它窄线宽准分子激光器 E10AR Specifications
| 工作物质 | ArF | KrF |
| 波长, nm | 193nm | 248nm |
| zui大能量., mJ | 20mJ | 26mJ |
| 线宽, pm | <20pm | <20pm |
| 光束形状 | 高斯光束 | |
| 波长调谐范围 | +/-200pm | +/-200pm |
| 平均功率W@ 25Hz | 0.1 | 0.3 |
| 平均功率W @ 250Hz | 1.0 | 2.5 |
| 重复频率 Hz | 25/250 | |
| 稳定性 | <3% 1 Sigma | |
| 静态气体寿命50%能量 | 3 days | 10 days |
| 脉宽 nS | 8 | |
| 稳定性 | <3% One Sigma | |
| 激光管寿命 | 1000 Million Pulses | |
| 光束尺寸, mm | 3 6 | |
| 发散角（全角）, mRad | 1 2 | |
| 制冷 | 空气 | |
| 时间抖动 | 2nS One Sigma | |
| 重量 | 16kg
| |
13820163359