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| 型号 |
FPGAM-EX350 |
运转方式 |
重复脉冲式 |
| 激励方式 |
电激励式 |
波段范围 |
近紫外 |
| 光路径 |
内光路 |
加工定制 |
是 |
| 输出波长 |
157nm(F2) |
输出波长 |
193nm(ArF) |
| 输出波长 |
248nm(KrF) |
输出波长 |
308nm(eCl) |
| 输出波长 |
351nm(eF) |
产地 |
www.felles.cn/zhunfenzi.html |
| 厂家 |
www.felles.cn/zhunfenzi.html |
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这款大能量准分子激光器是为大能量紫外激光应用设计的大功率准分子激光器,非常适合脉冲激光沉积PLD等应用,193nm波长的激光脉冲能量高达150mJ,248nm的激光脉冲能量高达250mJ.
(上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）
大能量准分子激光器特点
具有20Hz,50Hz,100Hz重复频率供选择
单激光器即可产生大功率大能量激光
光束发散角小
计算机可控制
抖动小到<2ns
?最强准分子激光器
?极好的脉间稳定性
?气体寿命长
?长寿命光学器件
?电晕预电离技术
?车载真空泵
大能量准分子激光器应用
?替代医用激光器
?脉冲激光电离激发
?准分子激光微纳加工
?精密激光标记
?屈光手术
?拉曼光谱激发源
大能量准分子激光器规格
工作物质 F2 ArF KrF eCl eF
波长nm 08 351
zui大能量mJ 20 125 250 125 100
平均功率W@20Hz 0.4 2.5 5 2.5 2
平均功率W@50Hz 0.9 5 12 4 4.5
静态气体寿命 10天 20天 30天 6个月 30天
激光窗口寿命 100E6
重复频率 20Hz和50Hz
脉度 20-26ns
光束尺寸 19x 7 mm V x H
稳定性 <2%标准偏差
光束发散角 3x 1.2 mRad全角
冷却 空气/水
激光管寿命 >10亿脉冲
电源 20Hz 95-240 VAC, 3/ 6 A, 47/63 Hz 50Hz 208-240 VAC, 5/10A, 47/63 Hz
超大能量准分子激光器规（增强版）
工作物质 F2 ArF KrF eCl eF
波长nm 08 351
zui大能量mJ 22 200 1J 200 125
平均功率W@20Hz 0.4 3.0 10 3.0 2.0
平均功率W@50Hz 0.9 6 6 4
静态气体寿命 10天 20天 30天 6个月 30天
（50%能量）
脉宽 18-22ns
腰斑尺寸 19x 7 mm
稳定性 <2%标准偏差
光束发散角 3x 1.2 mRad
定时抖动 +/-2ns
冷却 空气/水
激光管寿命 >10亿脉冲
重量 80kg
尺寸 0 mm
13820163359