| 品牌 |
锐博 |
气源要求 |
0.5-0.7MPa洁净压缩空气 |
| 压力控制精度 |
±0.02N |
工作环境温度 |
15-35℃ |
| 基板材质兼容性 |
陶瓷、蓝宝石、Si、GaAs |
芯片厚度适应范围 |
0.05mm-2mm |
| 重量 |
100 |
贴装头数量 |
4头（旋转式） |
| 温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
设备净重 |
约500kg |
| 贴装重复精度 |
≤1μm（3σ） |
X/Y轴最大运动速度 |
800mm/s |
| 工作环境湿度 |
30%-70%（无冷凝） |
角度精度 |
±1° |
| 环境温度 |
25±2°C |
冷却方式 |
强制风冷+水冷（热压头） |
| 视觉定位系统 |
双CCD+底部Mark点识别 |
Z轴调节行程 |
0-50mm |
| 是否支持加工定制 |
是 |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| 编程方式 |
离线编程+在线示教 |
视觉分辨率 |
500万像素 |
| 贴装良率 |
≥99.95%（稳定生产条件下） |
加热温度范围 |
室温-450℃ |
| 数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
是否自动 |
是 |
| 安全防护等级 |
IP54（工作区域） |
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18898580916