| 品牌 |
锐博 |
编程方式 |
离线编程+在线示教 |
| 视觉识别精度 |
±0.5μm |
气源要求 |
0.5-0.7MPa洁净压缩空气 |
| 设备净重 |
约500kg |
升温速率 |
≥100℃/秒(从室温到300℃) |
| 环境温度 |
25±2°C |
基板材质兼容性 |
陶瓷、蓝宝石、Si、GaAs |
| 安全防护等级 |
IP54(工作区域) |
X/Y轴最大运动速度 |
800mm/s |
| Z轴定位速度 |
100mm/s |
角度精度 |
±1° |
| 共晶压力范围 |
0.1-5N |
X轴有效行程 |
300mm |
| 加热温度范围 |
室温-450℃ |
驱动系统类型 |
伺服电机(X/Y轴)+压电驱动(Z轴) |
| 温度控制精度 |
±1℃(恒温阶段) |
共晶加热方式 |
脉冲热压+红外预热 |
| 工作环境温度 |
15-35℃ |
操作系统 |
Windows10Embedded |
| 料带送料器兼容性 |
8mm/12mm/16mm/24mm料带 |
电源要求 |
AC220V±10%,50Hz,最大功率3kW |
| 共晶压力 |
1050g |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| 喂料器数目 |
6位自动换吸嘴库 |
基板尺寸范围 |
5mm×5mm-200mm×200mm |
| 分辨度 |
高清 |
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