| 品牌 |
锐博 |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| 芯片尺寸适应范围 |
0.1mm×0.1mm-12mm×12mm |
设备尺寸 |
1640x1320x1820(mm) |
| 压力控制精度 |
±0.02N |
安全防护等级 |
IP54（工作区域） |
| 升温速率 |
≥100℃/秒（从室温到300℃） |
驱动系统类型 |
伺服电机（X/Y轴）+压电驱动（Z轴） |
| 定位精度 |
±10μm |
气压 |
0.5-0.7MPa |
| 喂料器数目 |
6位自动换吸嘴库 |
设备净重 |
约500kg |
| 工作环境湿度 |
30%-70%（无冷凝） |
分辨度 |
高清 |
| 电压 |
220V |
视觉分辨率 |
500万像素 |
| 操作系统 |
Windows10Embedded |
环境温度 |
25±2°C |
| 故障诊断功能 |
实时温度/压力/位置异常报警 |
数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
| 共晶加热方式 |
脉冲热压+红外预热 |
温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
| 贴装重复精度 |
≤1μm（3σ） |
单芯片贴装时间 |
≤0.8秒/芯片 |
| Z轴调节行程 |
0-50mm |
Z轴定位速度 |
100mm/s |
| 功率 |
6KW |
|
18898580916