| 品牌 |
锐博 |
加热温度范围 |
室温-450℃ |
| Z轴调节行程 |
0-50mm |
是否自动 |
是 |
| 设备外形尺寸 |
850mm×700mm×1200mm（L×W×H） |
数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
| 升温速率 |
≥100℃/秒（从室温到300℃） |
分辨度 |
高清 |
| 电源 |
220 |
是否支持加工定制 |
是 |
| 温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
共晶压力 |
1050g |
| 设备尺寸 |
1640x1320x1820(mm) |
工作环境湿度 |
30%-70%（无冷凝） |
| 视觉分辨率 |
500万像素 |
电压 |
220V |
| 重量 |
100 |
编程方式 |
离线编程+在线示教 |
| 故障诊断功能 |
实时温度/压力/位置异常报警 |
基板尺寸范围 |
5mm×5mm-200mm×200mm |
| 芯片尺寸适应范围 |
0.1mm×0.1mm-12mm×12mm |
工作环境温度 |
15-35℃ |
| 设备净重 |
约500kg |
晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
| 电源要求 |
AC220V±10%，50Hz，最大功率3kW |
共晶加热方式 |
脉冲热压+红外预热 |
| 气压 |
0.5-0.7MPa |
|
18898580916