| 重量 |
1200 |
品牌 |
锐博 |
| 是否自动 |
是 |
是否支持加工定制 |
是 |
| 加热区数量 |
3个独立加热区 |
程序存储容量 |
≥1000组 |
| 视觉识别精度 |
±5μm |
气压 |
0.5~0.6MP |
| 晶圆尺寸 |
6"x2(tray2"X2") |
故障诊断系统 |
实时在线故障诊断 |
| 相对湿度范围 |
30%-70%（无冷凝） |
平均无故障时间（MTBF） |
≥5000小时 |
| 实际生产速度 |
2500片/小时（UPH） |
基板尺寸范围 |
50mm×50mm-300mm×300mm |
| 压力控制精度 |
±0.05N |
X/Y轴定位精度 |
±15μm |
| 功率 |
2KW |
芯片厚度范围 |
0.05mm-2mm |
| 输入电源 |
AC220V±10%50Hz |
视觉定位系统 |
双CCD视觉系统 |
| 单个固晶时间 |
2秒 |
贴装压力调节范围 |
0.1N-10N |
| 冷却方式 |
强制风冷+水冷复合冷却 |
吸嘴兼容性 |
支持10种以上标准吸嘴 |
| 最大芯片尺寸 |
20mm×20mm |
控制系统类型 |
PLC+运动控制卡 |
| 基板传送速度 |
50mm/s |
设备尺寸 |
X1640xY1420xZ1840(mm) |
| 压缩空气耗气量 |
50L/min（标准状态） |
最小芯片尺寸 |
0.2mm×0.2mm |
18898580916