| 品牌 |
锐博 |
温度控制精度 |
±1℃（恒温阶段） |
| 故障诊断功能 |
实时温度/压力/位置异常报警 |
环境温度 |
25±2°C |
| 数据存储容量 |
≥1000组工艺参数 |
分辨度 |
高清 |
| Z轴调节行程 |
0-50mm |
升温速率 |
≥100℃/秒（从室温到300℃） |
| 电源要求 |
AC220V±10%，50Hz，最大功率3kW |
基板尺寸范围 |
5mm×5mm-200mm×200mm |
| 安全防护等级 |
IP54（工作区域） |
喂料器数目 |
6位自动换吸嘴库 |
| 晶圆尺寸兼容性 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
重量 |
1500 |
| 功率 |
6KW |
X轴有效行程 |
300mm |
| 是否自动 |
是 |
编程方式 |
离线编程+在线示教 |
| 电压 |
220V |
贴装良率 |
≥99.95%（稳定生产条件下） |
| 工作环境湿度 |
30%-70%（无冷凝） |
共晶加热方式 |
脉冲热压+红外预热 |
| 基板材质兼容性 |
陶瓷、蓝宝石、Si、GaAs |
芯片尺寸适应范围 |
0.1mm×0.1mm-12mm×12mm |
| 工作环境温度 |
15-35℃ |
Z轴定位速度 |
100mm/s |
| 电源 |
220 |
|
18898580916