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| 品牌 |
孚光精仪 |
型号 |
FPSMA-SL |
| 用途类型 |
激光位移传感器 |
工作原理 |
激光式 |
| 输出信号 |
模拟型 |
材质 |
金属膜 |
| 位移特征 |
直线位移 |
测量范围 |
小位移 |
| 加工定制 |
否 |
产地 |
欧洲 |
| 封装/规格 |
详见www.felles.cn/dingweitai.html |
数量 |
1 |
| 包装 |
标准包装 |
最小包装量 |
1 |
| 厂家 |
www.felles.cn/dingweitai.html |
产品类型 |
传感器 |
| 传感器类型 |
位移传感器 |
测量精度 |
高精度 |
| 应用领域 |
工业自动化 |
使用环境 |
室内 |
| 电源电压 |
根据具体型号而定 |
工作温度 |
根据具体型号而定 |
| 接口类型 |
根据具体型号而定 |
|
纳米SL系列是德国smaract纳米线性产品中尺寸较小的纳米定位台,非常适合各种空间布局有限的纳米定位应用。
纳米SL系列规格参数
| 型号 | SL-0610 | SL-0620 | SL-0630 |
| 分辨率 | <50nm | <50nm | <50nm |
| 负载 | 3N(100g) | 1N(100g) | 1N(100g) |
| 适合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
| 行程范围 | ± 2.25 (4.5) mm | ± 5.5 (11) mm | ± 8 (16) mm |
| 步进1 | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm |
| 扫描分辨率 | 50 nm | 50 nm | 50 nm |
| 速度 | >15mm/s | >15mm/s | >15mm/s |
| 频率 | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz |
| 阻尼力Fb | >1.6N | >1.6N | >1.6N |
| 正向力Fn | 1N | 1N | 1N |
| 升力Fl | 0.35N | 0.35N | 0.35N |
| 尺寸 | 11x11x5.2 mm3 | 21 x 11 x 5.2 mm3 | 31 x 11 x 5.2 mm3 |
| 重量 | 约3g | 约6g | 约9g |
| pitch俯仰力矩Mp | 0.1Nm | 0.1Nm | 0.1Nm |
| yaw偏航力矩My | 0.1Nm | 0.1Nm | 0.1Nm |
| roll扭转力矩Mr | 0.1Nm | 0.1Nm | 0.1Nm |
纳米SL系列可选项目
真空度兼容可选
-HV (10-6 mbar), UHV / UHVT (10-11 mbar)