高负载线性直驱平移台和直接驱动线性平移台可负载150kg

这款高负载线性直驱平移台是具有150kg超大负载能力的直接驱动线性平移台,采用光学编码器和3相无铁线性无刷伺服电机技术,为用户带来零反冲高精度平移运动。

高负载线性直驱平移台采用线性非接触式光学编码器作为反馈系统,使得位置控制高达亚纳米级分辨率。

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高负载线性直驱平移台采用自然老化铝合金确保了平移台高温稳定性和轻巧性,以及优良的长周期运动,导轨系统不会发生漂移。

高负载线性直驱平移台可以用于洁净空间环境或真空度10^-3Torr的真空环境,也可根据用户要求提供高真空直驱平移台。

高负载线性直驱平移台可以轻松地直接连接到光学平台上,可直接安装搭建成电动Y二维平移台,无需使用任何连接板。

高负载线性直驱平移台还可以安装到花岗岩龙门架或高精度平台上实现高精度平移定位。

图1：高负载线性直驱平移台实物图

高负载线性直驱平移台特点

超大超宽载物台方便运载大型物体

直接驱动无反冲backlash系统

高分辨率非接触式光学编码器

双向重复定位精度高达+/-0.5um

高精度线性导向和运载系统

超长使用寿命

方便集成到各种平台或光学机械系统中

Y二维位移台的正交性高达<=5arcsec

适合工业和科研应用，包括激光钻孔,激光切割,激光打标等

具有灰尘防护能力

高负载线性直驱平移台规格

行程范围400mm编码器类型光学编码器编码器型号LEn1编码器分辨率25nm~5um任意编码器接口差分RS422放大系数4-200任选编码器光栅周期,20um参考标记 (Index)Yes精度2)标定前±12μm标定后±1μm单向重复精度N/A双项重复精度（peak-peak)2)±0.5μm双项重复精度(RMS) 2)±0.26μmPitch 3)±30 / ±6.20 μrad/arcsecYaw 3)±30 / ±6.20 μrad / arcsecRollN/A速度 (负载4Kg) 4)<2000mm/s加速度 ((负载4kg) 5)<20000mm/s^2安全限位开关 (Safety)Optical (Optrons)安全限位开关极性Pushed is closed限位开关电压5…24V负载导向信息类型线性电机平移台电机类型LM6电机设计类型无铁BLDC MotorsBus Voltage>320VDC负载 (中心放置) 6)水平150kg垂直N/A运动质量 7)16kg导向系统循环直线轨道和载物滑块单元材料和外壳信息外部材料铝合金外壳处理黑色阳极氧化环境压力标准大气压工作温度20±2°C控制器推荐控制器 8)ACS Products Line or 8SMC5-USB series推荐驱动器 8)ACS Products Line or 8SMC5-USB series推荐电源 9)Request Standa support推荐通讯接口 12)EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP线缆长度2m差分输出 10)On request配件底板不需要Y二维平移台系统搭建直接搭建,不需要安装适配板Z轴竖直平移台搭建不可以外形尺寸移动台尺寸 (W x L)310 x 310mm外形尺寸 (W x L x H)390 x 805 x 120mm公制或英制公制 / 英制均可提供Y二维平移台正交性 11)24/5 μrad/arcsec防护处理 13)固体颗粒灰尘防护RoHS满足重量45kg

1) 默认为x4转PPR-脉冲数/每转，模拟SIN/COS编码器接口

2)精度和双向重复定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer测量计算

3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-OL 电子自相关仪器测试,电子自相关仪11D-ALI-OL分辨率1μrad. 环境误差1μrad.

4) 速度由编码器限制和驱动器CUT-OF频率以及导向系统限制.

5)加速度由驱动器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)决定.

6)负载能力由导向系统决定.

7) 运动质量是系统常数m0,通常是没有负载时的惯性。

8) 推荐的控制器和驱动器有助于发挥电动平移台的性能.

9) 推荐的电源是根据用户的占空比和负载来选择.

10) 差分输出接口,可提供主动或被动LCMv2接口.

11) 可组成正交性能更好的Y二维电动位移台系统.

12) 标量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通讯接口,矢量控制建议采用EtherCAT接口。

13) 平移台包括特殊封盖,可用于灰尘严重或湿度较大的环境。