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| 品牌 |
孚光精仪 |
型号 |
FPSMAR-P-SLL |
| 用途类型 |
激光位移传感器 |
工作原理 |
光栅式/光栅尺 |
| 输出信号 |
开关型 |
材质 |
金属膜 |
| 位移特征 |
角位移 |
测量范围 |
中位移 |
| 加工定制 |
否 |
产地 |
欧洲 |
| 封装/规格 |
标准封装 |
包装 |
工业包装 |
| 最小包装量 |
1 |
适用场景 |
工业自动化控制 |
| 接口方式 |
标准接口 |
精度等级 |
高精度 |
| 电源方式 |
直流电源 |
工作压力 |
常压 |
| 工作温度 |
-20-80℃ |
防护等级 |
IP65 |
| 安装方式 |
水平安装 |
测量介质 |
固体 |
| 保修期 |
一年 |
|
六维并联微动平台P-SLL采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学微动平台功能,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。六维并联微动平台P-SLL采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
六维并联微动平台P-SLL规格参数分辨率<1nm
负载：1000g (10N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根据用户要求）
垂直载荷Fv:10N水平力Fh:5N尺寸:> 250 x 80 x 67 mm3重量:≈ 300 ~2000 g行程范围：
x- 20 ~ 1200 mmy -45~119 mmz -≤ 16 mm
Θx：≤42 °
Θy：≤ 33°
Θz：≤42 °
带纳米传感器-S闭环最小增量（x，y，z）：1nm最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad重复精度(xyz全行程）：±200 nm重复精度(Θxyz全行程）：±10urad重复精度（1mm行程@xyz)：±15 nm材料和真空可选项目纳米级距离编码传感器非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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