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地址： 中国 浙江 绍兴市浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路1999号21幢1、2号(住所申报)
| 品牌 |
德迅 |
X方向测量长度 |
大至100mm |
| 材质 |
金属 |
爬坡角度 |
上升77度，下降88度 |
| Z轴运行高度 |
400mm |
直线度 |
≤0.8μm/100mm |
| Z方向线性度 |
±0.25％(样品厚度>2000A);5A(样品厚度≤2000A) |
X方向驱动器 |
140mm |
| 操作方式 |
软件操作 |
Z方向重复性 |
1σ0.2nm以内,但实际可达0.1nm |
| 测试样品 |
VLSI和TAYLORHOBSON认证的标准样品 |
精度 |
±4％ |
| 设备主体 |
花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震 |
被测工件最大直径 |
300mm |
| 样品台的垂直直线度保证 |
局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm |
取样长度L |
0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm） |
| 粗度规范对应 |
可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种；可测量台阶及倾斜度。 |
可检测最小内孔 |
5mm |
| X测定速度可调 |
5μm~2mm/s |
是否进口 |
否 |
| Y方向可移动 |
150mm |
评定长度 |
依据GB/T10610-2009标准执行 |
| 轮廓度量程 |
20mm |
工作台移动速度 |
0.05-0.8mm/s（分四档，自动调速） |
| 系列 |
粗糙度轮廓仪 |
加工定制 |
是 |
| 横轴分辨率 |
高至0.1um |
是否支持加工定制 |
是 |
18612192512