联系人:毛经理
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地址: 中国 浙江 绍兴市浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路1999号21幢1、2号(住所申报)
| 品牌 |
德迅 |
是否进口 |
否 |
| 测量行程 |
100×600 |
分辨率 |
0.0001mm |
| 外形尺寸 |
1278*698*1640 |
重量 |
380KG |
| 仪器尺寸(长*宽*高) |
1200*750*1800(mm) |
操控手柄 |
电动4档位 |
| 工作台移动速度 |
0.05-0.8mm/s(分四档,自动调速) |
X方向测量长度 |
大至100mm |
| 粗度规范对应 |
可对应各种国际新旧标准规范,测量参数多达60种;可测量台阶及倾斜度。 |
可检测最小内孔 |
5mm |
| Z轴高度(立柱) |
500mm |
角度 |
±1' |
| 测试样品 |
VLSI和TAYLORHOBSON认证的标准样品 |
样品台的垂直直线度保证 |
局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm |
| Z轴运行高度 |
400mm |
横轴分辨率 |
高至0.1um |
| 被测工件最大直径 |
300mm |
示值误差 |
±10% |
| 数传感器分辨率 |
0.02μm |
加工定制 |
是 |
| 移动精度 |
≤0.5μm/80mm |
测量速度 |
0.02~4.0mm/s |
| Z方向重复性 |
1σ0.2nm以内,但实际可达0.1nm |
X测定速度可调 |
5μm~2mm/s |
| 轮廓度量程 |
20mm |
圆弧 |
±(1.2+R/12)μm |











