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地址： 中国 浙江 绍兴市浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路1999号21幢1、2号(住所申报)
| 品牌 |
德迅 |
Y方向可移动 |
150mm |
| 仪器重量 |
约300Kg |
仪器尺寸（长*宽*高） |
1200*750*1800(mm) |
| 测试样品 |
VLSI和TAYLORHOBSON认证的标准样品 |
示值重复性 |
3％ |
| 分辨率 |
0.0001mm |
加工定制 |
是 |
| 台阶测定重复性 |
1σ0.2nm以内,但实际可达0.1nm |
示值误差 |
±10％ |
| 设备主体 |
花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震 |
被测工件最大直径 |
300mm |
| 操作方式 |
软件操作 |
工作台移动速度 |
0.05-0.8mm/s（分四档，自动调速） |
| 测量速度 |
0.02～4.0mm/s |
放大倍率 |
4× |
| 横轴分辨率 |
高至0.1um |
可检测最小内孔 |
5mm |
| 电源 |
220 |
爬坡角度 |
上升77度，下降88度 |
| 评定长度 |
依据GB/T10610-2009标准执行 |
外形尺寸 |
1278*698*1640 |
| 圆弧 |
±(1.2+R/12)μm |
纵轴分辨率 |
高至0.1nm |
| 系列 |
粗糙度轮廓仪 |
X测定速度可调 |
5μm~2mm/s |
| 移动精度 |
≤0.5μm/80mm |
样品台的垂直直线度保证 |
局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm |
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