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地址： 中国 浙江 绍兴市浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路1999号21幢1、2号(住所申报)
| 品牌 |
德迅 |
角度 |
≤±2′ |
| 加工定制 |
是 |
X测定速度可调 |
5μm~2mm/s |
| 圆弧 |
±(1.2+R/12)μm |
横轴分辨率 |
高至0.1um |
| 分辨率 |
0.0001mm |
电源 |
220 |
| Z轴运行高度 |
400mm |
爬坡角度 |
上升77度，下降88度 |
| X方向测量长度 |
大至100mm |
取样长度L |
0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm） |
| 仪器尺寸（长*宽*高） |
1200*750*1800(mm) |
线性精度 |
±(1.2+|0.15H|)μm |
| 测量范围 |
100 |
轮廓度量程 |
20mm |
| 电压 |
220V |
Z方向重复性 |
1σ0.2nm以内,但实际可达0.1nm |
| 放大倍率 |
112 |
测试样品 |
VLSI和TAYLORHOBSON认证的标准样品 |
| 纵轴分辨率 |
高至0.1nm |
仪器重量 |
约300Kg |
| 测量行程 |
100×600 |
工作台移动速度 |
0.05-0.8mm/s（分四档，自动调速） |
| X方向驱动器 |
140mm |
是否进口 |
否 |
| 适用范围 |
金属加工 |
移动精度 |
≤0.5μm/80mm |
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