联系人：毛经理
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地址： 中国 浙江 绍兴市浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路1999号21幢1、2号(住所申报)
| 品牌 |
德迅 |
台阶测定重复性 |
1σ0.2nm以内,但实际可达0.1nm |
| 角度 |
≤±2′ |
测试样品 |
VLSI和TAYLORHOBSON认证的标准样品 |
| 线性精度 |
±(1.2+|0.15H|)μm |
仪器尺寸（长*宽*高） |
1200*750*1800(mm) |
| 评定长度 |
依据GB/T10610-2009标准执行 |
是否进口 |
否 |
| 电源 |
220 |
最小测量内孔 |
5mm |
| 圆弧 |
±(1.2+R/12)μm |
操控手柄 |
电动4档位 |
| 横轴分辨率 |
高至0.1um |
示值误差 |
±10％ |
| X测定速度可调 |
5μm~2mm/s |
测量行程 |
100×600 |
| 适用范围 |
金属加工 |
Z轴高度（立柱） |
500mm |
| 示值重复性 |
3％ |
粗糙度量程 |
±1500μm |
| 取样长度L |
0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm） |
Z轴运行高度 |
400mm |
| X方向测量长度 |
大至100mm |
样品台的垂直直线度保证 |
局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm |
| 重量 |
400 |
纵轴分辨率 |
高至0.1nm |
| Z方向重复性 |
1σ0.2nm以内,但实际可达0.1nm |
材质 |
金属 |
18612192512