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地址： 广东肇庆市端州区广东省肇庆市端州区黄岗双东南三巷87号
| 型号 |
ZP-(10-60KW）系列 |
类型 |
电源 |
| 适用范围 |
真空镀膜 |
输入电压 |
380 |
| 输出电压 |
0-800/1000 |
输出电流 |
0-75 |
| 显示精度 |
5 |
外形尺寸 |
480*280*580mm |
| 订货号 |
ZP-(10-60KW)系列型号 |
货号 |
ZP-(10-60KW)系列型号 |
| 特色服务 |
一年保修 |
是否跨境货源 |
否 |
| 厂家 |
肇庆市翔兴电子设备`制造有限公司 |
|
中频磁控溅射电源(MF)
1．简介：
中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，输出频率设为典型的中频，中频电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有得到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。
2．产品特点：
（1）适用于中频孪生靶磁控溅射金属或非金属材料；特别适用于磁控反应溅射环境使用。
（2）人机交互操作界面；单片机智能控制；RS485通信；非晶逆变；模块IGBT设计。
（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制；输出电压、输出电流宽范围调节。
（4）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、短路等多重保护。
（5）内置电子电抗；自动匹配负载；输出频率2×40KHz。
（6）自动抑制靶材弧光放电及靶材表面中毒。
（7）镀膜工艺重复性好；提高成膜速度。
（8）高频交流输出。
（9）单片机C语言及汇编语言编程，键盘矩阵并行数据传输，瞬态响应快，误码率低，部分性能优于组态触摸屏/PLC。
3．技术参数【注：ZP-60KW为(主机+从机)2单元组合】
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