直流偏压电源

　　一、(直流)偏压电源-A型

　　1．简介：

　　偏压(Bias)是指在镀膜过程中施加在基体上的负电压，偏压电源输出端有两个电极，一个正极(+)，一个负极(-)，使用时要求正极(+)端子连接镀膜设备真空室外壳，负极(-)端子连接到工件，同时要求真空室外壳必须接入大地（大地的电位定义为零电位），由于偏压电源工作时输出端正极(+)电位高于负极(-)电位，而正极(+)端子又被接入大地，电位为零，于是负极(-)端子输出是一个负电压，正是这个加在工件上的负电压习惯说为负偏压，简称偏压；根据输出波形分类，偏压电源主要包括直流偏压和脉冲偏压两种，直流偏压主要用于导电靶，脉冲偏压主要用于非导电靶，使用者可根据不同的膜层工艺要求配置不同技术标准的偏压电源。

　　2．产品特点：

　　（1）输出负极性直流电压（输出端正极连接真空室外壳，输出端负极连接到工件）。

　　（2）人机交互操作界面；DSP数字芯片控制；RS485通信；远/近控切换；非晶逆变。

　　（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制。

　　（6）内置电子电抗；自动匹配负载。

　　（5）内置大功率高频开关稳压电源。

　　（4）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。

　　（6）提高真空等离子体内带电粒子能量，轰击清洁被镀工件表面，提高沉积膜层的结合力。

　　（7）单片机C语言及汇编语言编程，键盘矩阵并行数据传输，瞬态响应快，误码率低，部分性能优于组态触摸屏/PLC。

　　（8）占空比（PWM）调节输出。

　　（9）工作频率范围：20KHz-100KHz，可根据客户要求设定。

　　二、(直流)偏压电源-B 型

　　1．简介：

　　(1)用途：偏压电源主要用于多弧离子和磁控溅射镀膜过程中的辉光清洗、离子轰击和膜层沉积时在被镀工件上施加偏压，在辉光清洗时，它产生辉光；在离子轰击中用于加速离子，提高离子轰击工件表面进的能量，达到溅射清洗效果和提高膜层结合力的目的，在膜层沉积时，它也用于增加离子能量，促进和改善薄膜生长，也会提高膜基结合力。

　　(2)定义：偏压(Bias)是指在镀膜过程中施加在基体上的负电压，偏压电源输出端有两个电极，一个正极(+)，一个负极(-)，使用时要求正极(+)端子连接镀膜设备真空室外壳，负极(-)端子连接到工件，同时要求真空室外壳必须接入大地（大地的电位定义为零电位），由于偏压电源工作时输出端正极(+)电位高于负极(-)电位，而正极(+)端子又被接入大地，电位为零，于是负极(-)端子输出是一个负电压，正是这个加在工件上的负电压习惯说为负偏压，简称偏压；根据输出波形分类，偏压电源主要包括直流偏压和脉冲偏压两种，直流偏压主要用于导电靶，脉冲偏压主要用于非导电靶，使用者可根据不同的膜层工艺要求配置不同技术标准的偏压电源。

　　2．产品特点：

　　（1）输出负极性直流电压（输出端正极连接真空室外壳，输出端负极连接到工件）。

　　（2）人机交互操作界面；DSP数字芯片控制；RS485通信；远/近控切换；非晶逆变。

　　（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制。

　　（4）内置电子电抗；自动匹配负载。

　　（5）内置大功率高频开关稳压电源。

　　（6）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。

　　（7）提高真空等离子体内带电粒子能量，轰击清洁被镀工件表面，提高沉积膜层的结合力。

　　（8）单片机C语言及汇编语言编程，键盘矩阵并行数据传输，瞬态响应快，误码率低，部分性能优于组态触摸屏/PLC。

　　（9）占空比（PWM）调节输出。

　　（10）工作频率范围：20KHz-100KHz，可根据客户要求设定。

　　三、(直流)偏压电源-C 型

　　1．简介：

　　偏压(Bias)是指在镀膜过程中施加在基体上的负电压，偏压电源输出端有两个电极，一个正极(+)，一个负极(-)，使用时要求正极(+)端子连接镀膜设备真空室外壳，负极(-)端子连接到工件，同时要求真空室外壳必须接入大地（大地的电位定义为零电位），由于偏压电源工作时输出端正极(+)电位高于负极(-)电位，而正极(+)端子又被接入大地，电位为零，于是负极(-)端子输出是一个负电压，正是这个加在工件上的负电压习惯说为负偏压，简称偏压；根据输出波形分类，偏压电源主要包括直流偏压和脉冲偏压两种，直流偏压主要用于导电靶，脉冲偏压主要用于非导电靶，使用者可根据不同的膜层工艺要求配置不同技术标准的偏压电源。

　　2．产品特点：

　　（1）输出负极性直流电压（输出端正极连接真空室外壳，输出端负极连接到工件）。

　　（2）人机交互操作界面；DSP数字芯片控制；RS485通信；远/近控切换；非晶逆变。

　　（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制。

　　（4）内置电子电抗；自动匹配负载。

　　（5）内置大功率高频开关稳压电源。

　　（6）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。

　　（7）提高真空等离子体内带电粒子能量，轰击清洁被镀工件表面，提高沉积膜层的结合力。

　　（8）单片机C语言及汇编语言编程，键盘矩阵并行数据传输，瞬态响应快，误码率低，部分性能优于组态触摸屏/PLC。

　　（9）前级偏压(Bias)调节+后级占空比(PWM)调节联动调节输出，无高压(H)挡位、低压(L)挡位切换。

　　（10）工作频率范围：20KHz-100KHz，可根据客户要求设定。

　　四、(直流)偏压电源技术参数【注：PY-60KW为(主机+从机)2单元组合】