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| 型号 |
ZP_40KW |
外形尺寸 |
480*280*580mm |
| 输出电流 |
0-50A |
输出功率 |
0-40KW |
| 输入电压 |
380V+N ±10% 50-60 Hz |
输出电压 |
0-800V/1000V |
| 产地 |
肇庆 |
厂家 |
肇庆市翔兴电子设备制造有限公司 |
产品特点：
（1）适用于中频孪生靶磁控溅射金属或非金属材料；特别适用于磁控反应溅射环境使用。
（2）人机交互操作界面；单片机智能控制；RS485通信；非晶逆变；模块IGBT设计。
（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制；输出电压、输出电流宽范围调节。
（4）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、短路等多重保护。
（5）内置电子电抗；自动匹配负载；输出频率40KHz。
（6）自动抑制靶材弧光放电及靶材表面中毒。
（7）镀膜工艺重复性好；提高成膜速度。
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