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地址: 浙江温州市永嘉县永嘉瓯北街道五星工业区轻纺路28号
| 型号 |
CCD |
材质 |
不锈钢 |
| 连接形式 |
法兰 |
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CCD型系列电动超高真空插板阀是采用电动驱动,通过电机带动阀杆和阀板运动,控制,操作方便,可实现远程自动化控制,提高了工作效率和控制精度,适用于对控制要求较高的超高真空系统,电动操作时,电动机旋转,并通过传动部件使四杆连动式的阀杆往复运动当阀板进入与阀座密封部位时阀板靠板式弹簧部件的作用,使阀板压紧。阀门具有动作平稳、使用可靠、操作方便、适用范围广、密封性能好和寿命长等优点。广泛应用于需要高精度控制的超高真空系统。在半导体制造行业,用于控制工艺气体的流动,保证芯片制造过程中的超高真空环境,防止杂质气体进入,确保芯片质量。在科研领域的高精密实验设备中,如物理、化学实验中的超高真空系统,用于控制实验环境的真空度和气流,为实验提供稳定可靠的条件。在航空航天领域的真空模拟测试设备等方面也有广泛应用,确保设备在模拟太空等真空环境下的性能测试准确性。
技术参数及连接标准
1、总体漏率:当公称通径DN≤200 时,阀门漏率≤1.3×10-7Pa?L/s;
当公称通径DN≥250 时,阀门漏率≤6.7×10-7Pa?L/s;
2、使用范围:105~1.3×10-7Pa;
3、阀门开启时阀板两侧的压差:≤2.7×103Pa;
4、主要材质:不锈钢(304)
5、适用温度:-30~+150℃(氟橡胶)。
6、电源电压:AC220V/50Hz
7、安装位置:密封面朝向真空。
8、连接形式:CF国标铜垫圈密封刀口法兰、LF橡胶圈密封法兰、
GB-LP固定法兰和ISO-F 固定法兰四种连接方式。
9、适用工作介质为空气及非腐蚀性气体。