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工商信息

辅光精密仪器(上海)有限公司

通过真实性核验手机验证
成立时间:
辅光精密仪器(上海)有限公司
注册资本:
50万元
所在地区:
上海浦东新区
主营产品:
激光粒度仪器-光学成像仪器 - 医用光学仪器
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磁控溅射系统,磁控溅射沉积系统,磁控溅射镀膜
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感应耦合反应离子刻蚀系统,ICP-RIE,各向异性蚀刻
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离子束沉积系统,离子束沉积溅射镀膜
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电子束蒸发系统,电子束镀膜蒸发系统
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电阻热蒸发复合镀膜系统,电子束沉积镀膜,电阻式热蒸发沉积
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真空电阻式热蒸发镀膜机,真空沉积镀膜
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半导体晶圆热处理系统,晶圆高温处理系统,晶圆退火
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磁控溅射物理气相沉积,高压PVD系统,磁控溅射热蒸发
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高压PVD系统,物理气相沉积,晶圆溅射金属膜
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晶圆热退火炉,晶片惰性气氛快速热退火系统
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化学气相沉积系统,反应离子蚀刻RIE和ICPCVD系统
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反应离子刻蚀系统,等离子体反应离子蚀刻机
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台式薄膜沉积系统,PVD系统,E-beam,ORCA热蒸发源,磁控溅射
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COVAP物理气相沉积系统,PVD系统
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物理气相沉积平台,PVD系统
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