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| 型号 |
POLOS450 |
工作原理 |
影像式 |
| 重量 |
35 |
厂家 |
www.f-lab.cn/yunjiaoji.html |
大型旋涂仪POLOS450是为光刻胶匀胶甩胶应用设计的高精度旋涂仪器,适用于直径450mm以下的基片使用。手动化学分配,2条自动静态分配线,气动盖打开和关闭，卡盘适配器和一个真空卡盘，最多可用于3个晶片，速度zui大1500rpm，腔室zui大直径约450mm
(上述价格不准确，请您联系我们获得准确报价）
大型旋涂仪POLOS450规格参数
桌面型号，独立版本
适合直径不超过450mm的衬底
手动化学品分配，2条自动静态分配线
气动盖打开和关闭
卡盘适配器和一个真空卡盘，最多可用于3种晶片尺寸
zui高转速1500rpm
腔室zui大直径约450mm
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