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| 型号 |
FP-Polos300 |
工作原理 |
接触式 |
| 精度 |
1um |
加工定制 |
是 |
| 重量 |
12 |
厂家 |
www.f-lab.cn/yunjiaoji.html |
高精度匀胶机Polos300 是300mm单片匀胶机SPIN COATER,专为MEMS、半导体、光伏、微流体等领域的研发和小批量生产而设计，适用于所有典型的旋涂工艺：清洁、冲洗/干燥、涂层、显影和蚀刻。
(上述价格不准确，请您联系我们获得准确报价）
高精度匀胶机采用全塑料无缝构建，外壳采用天然聚（NPP）或可选PTFE，适用于处理5mm到小于等于300mm的晶圆衬底或8''x 8”的方形基板。
高精度匀胶机特点
?自动化学品分配：
?通过多达6个喷嘴分配液体
?每个都可编程，用于顺序或并行分配
?透明/透明圆顶ECTFE盖，带中央集成N2喷淋清洗
?天然聚（NPP）无缝全塑料外壳
?高耐化学性PTFE（TFM）无缝全塑料外壳
?台式旋涂机型号：尺寸：43cm（宽）x 65cm（深）x 31cm（高）
?基板晶片尺寸：碎片和基板zui大360mm或8“x8”
?重型伺服控制电机：
?确保可重复的转速
?转速可调，1至10000 rpm
?顺时针和逆时针旋转
?用于显影的puddle功能
?通过带手套的手指友好型全尺寸键盘和LED背光显示屏，轻松逐步编程
?可编程数字过程控制器：
?存储多个程序，每个程序包含99步配方，用于：
?速度1-10.000rpm、时间、加速度
?真空开/关
?继电器打开/关闭
?多用户访问级别
?2个可编程开/关开关输出eg.用于分配开/关、氮气开/关等。
?排水连接
?符合CE标准
高精度匀胶机规格参数
程序数：无限制
程序的步进数：无限制
旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）
旋涂速度精度：± 0.1 rpm
旋涂旋转方向：顺时针，逆时针，puddle浸置式
zui大加速度：30000rpm/s
旋涂时间：无限制
外壳材质：NPP或PTFE
旋涂室材质：NPP或PTFE
外部链接：1个USB接口连接控制器
zui大衬底直径：360mm圆形或8''x8''方形
zui大旋涂室直径：402mm
430 (w) x 310 (h) x 650 (d) mm
重量：32kg
供电要求：200-240VAC
zui大功耗：1800W
真空：- 80 kPa (-24 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD ?8mm
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