进口小型旋涂机SPIN150i是150mm单片旋涂机

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产品详情

　　进口小型旋涂机SPIN150i是150mm单片旋涂机,专为MEMS、半导体、光伏、微流体等领域的研发和小批量生产而设计，适用于所有典型的旋涂工艺：清洁、冲洗/干燥、涂层、显影和蚀刻。

　　(上述价格不准确，请您联系我们获得准确报价）

　　进口小型旋涂机SPIN150i适用于处理小至5mm、高达150?（或6”）或4“x 4”基板的晶圆。可拆卸触摸面板。配方的无限程序存储，每个步骤都有多个（CW & CCW rotation用于浸置式显影旋涂应用的顺时针和逆时针旋转）。

　　进口小型旋涂机特点

　　工艺种类齐全，包括旋涂和浸置式显影

　　结构紧凑，方便实验室防置

　　大屏幕彩色触摸屏

　　专为各种光刻化学光刻胶设计

　　进口小型旋涂机SPIN150i规格参数

　　程序数：无限制

　　程序的步进数：无限制

　　旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）

　　旋涂速度精度：± 0.1 rpm

　　旋涂旋转方向：顺时针，逆时针，puddle浸置式

　　zui大加速度：30000rpm/s

　　旋涂时间：无限制

　　外壳材质：NPP

　　旋涂室材质：NPP

　　外部链接：1个USB接口连接控制器

　　zui大衬底直径：160mm 或4''x4'’方形

　　zui大旋涂室直径：202mm

　　尺寸:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm

　　重量：14kg

　　供电要求：200-240VAC

　　zui大功耗：500W

　　真空：- 65 kPa (-19 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD ?8mm

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