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| 型号 |
FPSEM-STE3526 |
检测对象 |
半导体材料 |
| 加工定制 |
是 |
重量 |
150 |
| 产地 |
www.felles.cn/mbe.html |
厂家 |
www.felles.cn/mbe.html |
这款混合异质结构分子束外延系统具有双反应器,非常适合А3В5和А2В6异质结构生长应用,也可用于epi晶圆研发和试生产。
混合异质结构分子束外延系统是提供从А3В5-反应器到А2В6-反应器的超纯超高压基板传输，避免生长界面的不受控制的污染。
还可以配备V族和VI族元素的阀裂解单元以及所有必要的原位分析工具。
(上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）
混合异质结构分子束外延系统优势：
?“实验室到工厂”的概念，允许开展从基础研究到异质结构试生产的活动
?铝（冷唇）专用渗出细胞，操作稳定，镓（热唇）提供低椭圆形缺陷密度
?在系统基本配置中对生长过程进行现场监测的所有必要工具
?特别设计的生长操纵器，提供高温均匀性和加热/冷却速率动态
?安装期间的有效技术支持，包括基本工艺转移
?简单的系统操作和定期的技术维护
网页上的价格是参考价格，未必准确，准确的价格信息请联系我们索取。
混合异质结构分子束外延系统参数：
| 烘烤后生长室的最终真空度，Torr | <5×10-11 |
| zui大基板直径，mm | 100或3×2″block |
| 100mm晶圆的厚度和复合不均匀度，% | ±1 |
| “源到基片”距离，mm | 135÷210 |
| 渗出细胞百叶窗设计 | 基于磁耦合旋转运动的无冲击驱动旋转机构 |
| 百叶窗叶片材料 | 钽、钼或PBN（可选） |
| 生长机械手加热元件的设计 | PBN/PG/PBN |
| 生长操纵器的zui高工艺温度，不低于，℃ | 900 （NH3-MBE为1200）
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| 准备室中基板脱气温度，不低于，℃ | 650
（III氮化物为1100）
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| 生长室烘烤温度，不低于，℃ | 200 |
| 离子泵容量，不小于，l/s：
–生长室（III-N的TMP） –准备室 –负载锁定
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800 (2000) 500 300
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13820163359