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| 品牌 |
辅光精密仪器（上海）有限公司 |
型号 |
FPSEM-STE75 |
| 货号 |
FPSEM-STE75 |
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这款多功能紧凑型MBE系统具有三个腔室,适合用于А3В5, 宽带А2В6 和А3N 化合物（订制版本）的生长,MBE系统设计吸收了这些材料系统中分子束外延的zui新成果,非常适合用于半导体材料领域中基于А3В5 宽带А2В6和III氮化物的材料生长研发。
多功能紧凑型MBE系统基本配置：
?生长室的垂直生长几何结构
?10个水冷63CF端口，用于带百叶窗的渗出细胞，3个40CF和1个不带百叶窗的63CF–共14个端口
?易于接近渗出细胞快门组件
?紧凑的单液氮冷冻板，有效地包围生长体积
?基于PBN/PG/PBN加热元件的生长机械手排气阶段
?标准的分子源，包括5个渗出细胞，V（VI）组或N2血浆细胞的带阀裂解器
?适用于材料应用的泵送子系统
?生长过程数据现场监测的所有必要工具：RHEED、红外高温计、Bayard-Alpert束流监测器、激光干涉仪（可选）
?准备室，带有晶片夹持器的存储盒（6个）和脱气台，带有基于离子泵的独立泵送系统：用于原子氢端口的特殊端口
?装载锁室，带有基板支架的存储盒（3个），快速检修门和基于涡轮分子泵的泵送系统
?一套基板支架
?适当的超高压仪表
?烘烤系统（高达200°C），无热点形成
?控制电子设备
?过程控制系统
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多功能紧凑型MBE系统主要优势：
?简单集成到特高压集群工具中
?基本系统配置中包括用于生长参数现场监测的所有必要仪器
?由于生长机械手加热阶段的特点，基板加热和冷却速率高，控制热电偶和实际表面温度之间的温差小
?紧凑的“足迹”
?极低的液氮消耗量（低于10-15升/小时！）
?安装期间的有效技术支持，包括基本工艺转移
?简单的系统操作和定期的技术维护
多功能紧凑型MBE系统参数：
| 烘烤后生长室的最终真空度，Torr | <5×10-11 |
| zui大基板直径，mm | 76.2 (3″) |
| 3″基板的厚度和成分不均匀度，% | ±1 |
| 生长机械手加热元件的设计 | PBN/PG/PBN |
| 旋转时的zui大基板温度，℃： –对于A3B5/A2B6化合物，不少于 –对于A3N化合物，不少于 |
900 1200 |
| 制备室加热阶段基板脱气的zui高温度，℃ | 650（III氮化物版本为1100） |
| 生长室烘烤温度，不低于，℃ | 200
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