设备名称：链式湿法刻蚀设备
设备型号：DRX-4800B / DRX-8000B
设备用途：对单、多晶硅片进行刻蚀、清洗、干燥。
工艺流程：正面保护→刻蚀→碱洗→酸洗→烘干
技术特点
· 高产能：4500PCS/5道，8000PCS/10道。
· 自动化程度高
· 高均匀性，超长药液寿命。
· 支持多种添加剂或混合添加剂技术。
· 支持薄120μm硅片。
· 快速换液，在线换液。
· 支持MES,选配在线称重检测。
· 兼容酸抛光功能。
· 免加硫酸
· 无刻蚀线
· PID-Free（O3模块，可选）
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