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P2O5粉末 PCI3液体 PO(OCH3)3金属有机化合物 |
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CVD材料是将带有蒸汽压的原材料进行气化，在各种条件下利用气相中的化学变化，对目标物质进行成膜的材料。
1、P粉末，75-600um
2、P粒状，0.5-10mm
3、P2O5,粉末
4、PCI3，5N，液体
PCI5，4N，固体
POBr3，固体
5、PO(OCH3)3，液体，5N
PO(OC2H5)3,液体，5N
PO(O-n-C4H9)3,液体，5N
P(OCH3)3,无色液体
P(OC2H5)3,无色液体
18221104206