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| 型号 |
LiOCH3金属有家化合物 |
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CVD材料是将带有蒸汽压的原材料进行气化，在各种条件下利用气相中的化学变化，对目标物质进行成膜的材料。
1、Li棒状、粉状
2、Li-AI合金粉末
3、Li2O粉末，Li2O2粉末
4、LiAIO2,粉末
LiBO2粉末
Li2GeO3粉末
Li2MoO4，粉末
LiNbO3，3N
Li2SiO3，粉末
Li2TiO3，粉末
Li2WO4，粉末
5、靶材
LiCoO2，2N
LiNbO3，2N
LiMn2O4，2N
6、无机化合物
Li3N，2N,粉末
LiOH H2O，粉末
Li2S，粉末
7、金属有机化合物
LiOCH3,3N，白色固体
LiOC2H5，3N,白色固体
LiO-i-C3H7，白色固体，3N
8、涂布型材料
LT-03 LiTaO3，黄色液体
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