| 品牌 |
成都超迈光电 |
型号 |
surpass系列 |
| 材质 |
不锈钢 |
外形尺寸 |
按需定制 |
| 加工定制 |
是 |
产地 |
成都 |
形式：φ650-3500mm,箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，一体机系统。
真空系统：真空8X10-5Pa，主泵为复合分子泵\低温泵\扩散泵可选。
真空测量：配三路数字复合真空计，均采用安全防爆金属测量规。
工件架系统。客户需求定制，转速3～30rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选。
烘烤系统。不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块，烘烤温度300℃，温控精度1℃，过冲不过2℃。
电子束蒸发源。E型电子束蒸发源系统(E型)1-2套，主体有屏蔽罩，配置独立高压控制柜。
旋转蒸发源：电动转位和点动转位，配置无氧铜坩埚和石墨坩埚各一套。
电阻蒸发源：2套电阻蒸发源。（选配）
膜厚测试系统。配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统， RS-232 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探头。
离子源辅助沉积系统:一套（选配离子源或高压离子轰击系统）
控制系统：成熟可靠的真空镀膜控制系统，工业级10英寸触摸屏（工控机）和西门子PLC，能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程；支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统，采用声光报警。
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