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ft-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
ft-330 series mon four probe resistance ratio test instrument
一.描述deion：
采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差，提供通讯接口，pc软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.
二.参照标准standard：
硅片电阻率测量的标准（astm f84）及国家标准设计制造；gb/t 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、gb/t 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
四.型号及参数models and technical parameters
| 规格型model
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ft-331
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ft-332
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ft-333
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ft-334
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ft-335
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ft-336
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1.方块电阻范围sheet resistance
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10-5～2×105ω/□
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10-4～2×105ω/□
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10-3～2×105ω/□
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10-3～2×104ω/□
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10-2～2×105ω/□
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10-2～2×104ω/□
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2.电阻率范围resistivity
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10-6～2×106ω-cm
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10-5～2×106ω-cm
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10-4～2×106ω-cm
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10-4～2×105ω-cm
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10-3～2×106ω-cm
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10-3～2×105ω-cm
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测试电流范围 test current
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0.1μa，1μa，10μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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10μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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0.1μa，1μa，10μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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10μa，100μa，1ma，10ma， 100ma
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0.1μa，1μa，10μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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1μa，10μa，100μa，1ma，10ma，100ma
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4.电流精度current accura
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±0.1%
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±0.2%
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±0.2%
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±0.3%
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±0.3%
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±0.3%
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5.电阻精度resistance
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≤0.3%
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≤0.3%
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≤0.3%
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≤0.5%
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≤0.5%
|
≤0.5%
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6.显示读数display
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液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率
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7.测试方式test mode
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普通单电测量general single electrical measurement
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8.工作电源power
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输入: ac 220v±10%.50hz功耗：<30w
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9.误差errors
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≤4%（标准样片结果standard sample results）
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10.选购功能choose to buy
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选购1.pc软件；选购2.方形探头；选购3.直线形探头；选购4.测试平台；5.标准电阻 1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform.
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11.测试探头test probe
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探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格;探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针
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