March等离子清洗机March AP-1000/AP-600/AP-300

　　等离子处理设备的特点和优势

　　带触摸屏的PLC控制器提供了直观图形界面和实时工艺呈现。

　　无论是直接等离子，还是下游等离子模式，弹性架板结构都可以应对各种不同的样品载具。

　　13.56 MHz 射频发生器有自动阻抗调谐，实现了成熟的工艺再现性。

　　软件控制系统生成工艺和生产数据用于统计制成控制。

　　批处理类型，每一个单元都包含在机器内部，只需要较小的占地面积。

　　泵、腔体、电子控制、13.56 MHz射频源都被封装在一个箱体内。

　　AP-600等离子清洗机：AP600系统适合多种多样的等离子清洗、表面活化和改善附着力等应用。这些能力可以用于半导体制造、微电子封装和组装、医疗设备和生命科学器件的制造等。

　　通过2个标准配置的气体流量控制器控制用于较好的气体控制。系统还可以选配2路气体，多可达4路。

　　AP-1000等离子清洗机：搭配HTP(高产能)电极的AP-1000等离子系统是综合了March拥有的电极设计和AP-1000的高可靠性及其优良的工艺性。AP-1000 HTP充分利用了射频等离子产生的活性离子，不仅缩短工艺时间而且提高处理均匀性。

　　AP-1000HTP配备4路气体流量控制器，因工艺需求可选周不同的气体包括氩气、氢气和氦气等。

　　开槽式料盒可竖放于工艺腔内，通常每个料盒放置20条引线框，根据料盒尺寸大小，一炉可多放置12个料盒。

　　规格:

　　外形尺寸

　　W (宽)x D(长) x H(高) – 占地面积 569(宽) x 869(进深) x 704(高) 毫米

　　净重 221公斤 (487磅)

　　设备间隙 右侧、左侧、前面–至少 569毫米，后面–至少254毫米

　　处理腔体

　　*容量 50.4 升

　　多钟电极配置 电源-接地、接地-电源、电源-电源

　　电极插槽数 7

　　电极间距 25.4毫米

　　电极

　　电源电极面积 330(宽) x 330(进深) 毫米

　　多孔接地电极面积 368(宽) x 330(进深) 毫米

　　悬浮电极面积 330(宽) x 330(进深) 毫米

　　射频电源

　　标配电源 600 W

　　频率 13.56 MHz

　　气体控制

　　流量计 10, 25, 50, 100, 250 或 500 sccm(标准毫升每分钟)

　　MFC*多可配置数量 4

　　外壳：涂层铝，泵、电子控制、处理腔体、发生器全部安装在内

　　脚支架：697W×1513H×1127D（mm）

　　腔体：结构：不锈钢11AWG，铝支

　　腔体尺寸：457W×457H×610D（mm）

　　可调整架数量：14

　　电源架工作规格：349W×425D（mm）

　　接地架工作规格：384W×425D（mm）

　　RF功率：600W，固态自动调整（可升级为1000W）

　　气体控制：4个质量流量控制器

　　控制器：带触摸屏的PLC控制

　　泵系统：1415LPM（50CFM）带有油雾过滤器；

　　设备需求：电源200～240VAC，25A