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| 型号 |
MarSurf CD 140 / MarSurf CD 280 |
材质 |
钛合金钢 |
| 功率 |
15W |
分辩率 |
0.01um（10nm） |
| 量程 |
X轴方向高达 280 mm/140mm |
气源压力 |
无 |
| 传感器 |
高精度轮廓仪传感器 |
环境要求 |
理想温度：20±2℃ 阶梯温度不超过1℃/h 相对湿度：＜85%（无凝露） |
| 产地 |
德国 |
厂家 |
马尔/Mahr |
德国mahr马尔轮廓仪MarSurf CD 140/280 自动测杆识别 换针无需重新校准 全自动测量步骤
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