联系人：吕先生
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地址： 广东深圳市福田区深圳市福田区八卦岭工业区619栋628
| 型号 |
MS |
加工定制 |
否 |
| 外形尺寸 |
- |
重量 |
2 |
| 产地 |
美国 |
厂家 |
Alicat |
一、MS防腐蚀质量流量计标准规格
满量程范围： 0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
测量范围：满量程的 1% – 100%
准确度：读数的 0.8% 和满量程的 0.2%
可选高精度：读数的 0.4% 和满量程的 0.2%
重复性：满量程的±0.2%
响应时间： <10 毫秒
工作温度： –10°C 至 +60°C
满量程工作压力： 160 PSIA (11 barA)
二、MS防腐蚀质量流量计特征
同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度。
现场可调工程单位和STP/NTP 条件。
从98 多种预加载的 NIST 可溯源气体校准中选择工艺气体。
定义和存储多达 5 种成分气体的20 种自定义气体混合物。
使用集成触摸板从背光显示屏和控制配置中读取测量值。
可选的集成双流量累加器和警报。
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