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| 型号 |
M系列 |
测量范围 |
测量流量 |
| 加工定制 |
否 |
外形尺寸 |
- |
| 重量 |
5 |
产地 |
美国 |
| 厂家 |
Alicat |
|
一、M系列质量流量计规格
满量程范围： 0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
测量范围：满量程的 0.01% – 100%
准确度：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准
可选高精度：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准
重复性：读数的 0.1% 和满量程的 0.02%
响应时间：<10 毫秒
工作温度： –10°C 至 +60°C
满量程工作压力： 160 PSIA (11 barA)
二、M系列质量流量计特征
同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度。
现场可调工程单位和STP/NTP 条件。
从98 多种预加载的 NIST 可溯源气体校准中选择工艺气体。
定义和存储多达 5 种成分气体的20 种自定义气体混合物。
使用集成触摸板从背光显示屏和控制配置中读取测量值。
可选的集成双流量累加器和警报。
三、M系列质量流量计构建和性能选项
通讯：模拟、RS–232、RS–485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
过程连接： NPT、SAE、AN、BSPP/G、压缩、VCR、VCO
显示器：背光单色或彩色；集成或面板安装；没有任何
弹性体： FKM、FFKM、EPDM、硅胶
校准：标准或高精度；自定义校准点
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