KDY-20型两探针电阻率测试仪 两探针仪

KDY-20型两探针电阻率测试仪

　　本仪器主要由电气测量部份（简称：主机）、测试台及两探针头组成。

　　仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。

　　主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流开关，在测量某些材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护被测材料。

　　仪器配置了本公司的专li产品：“小游移探针头”，间距为1.59mm的两探针头探针游移率在0.2%以下。

　　保证了仪器测量电阻率的重复性的准确度。

　　本机可配用KDY两探针测量系统，置入必须的数据后，测量软件会配合探头在硅棒上移动测量，自动计算各点的电阻率、正反向电阻率平均值、电阻率的zui大值、电阻率zui小值，zui大百分变化，测量数据实时存储在数据库中，可随时查询所有测量数据或按条件查询；

　　提供打印及导出格式供用户选择，测量快速、，用户在测量使用时会更加方便快捷。

　　KDY-20型两探针电阻率测试仪（以下简称两探针仪）是按照我国国家标准及美国材料与试验协会（ASTM）SEMI MF397-1106（用两探针测量电阻率的测量方法）推荐的材料验收检测方法“两探针法”设计。

　　它适合于测量横截面尺寸是可测量的，而且棒的长度与横截面zui大尺寸之比不应小于3：1。

　　例如横断面为圆形、正方形、长方形或梯形的单晶或多晶锭。

　　由于两探针法的测量电流是从长棒两端进出，远离电压测量探针，因此电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应（如珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等），对测量的影响较小，因此两探针法的测量精度一般优于四探针法。

　　特别是对多晶材料的测量，由于多晶晶粒间界处，杂质局部偏析可能导致电阻率较大变化，这种影响对四探针法更为严重，故不推荐用四探针法测量多晶材料的电阻率。

　　（1）测量范围：

　　可测硅晶体电阻率：0.005-10000Ω·cm

　　可测硅棒尺寸：zui大长度300mm；直径20mm（均可按用户要求更改）

　　（2）恒流源：

　　输出电流：DC0.001-100mA 五档连续可调

　　量程：0.001-0.01mA（1-10μA）、0.01-0.1mA（10-100μA）、0.1-1.0mA 、1.0-10mA、10-100mA

　　恒流精度：各档均优于±0.05%

　　（3）直流数字电压表：

　　测量范围：0-199.99mV

　　灵敏度：10μV

　　基本误差：±（0.004%读数±0.01%满度）

　　输入阻抗：≥1000MΩ

　　（4）电阻测量误差：≤0.3%

　　（5）两探针头：KDT-9

　　探针间距：1.59±0.01mm 探针直径Φ0.8mm

　　游移率：＜0.2% 探针材料：硬质合金（WC）

　　探针压力：3±1N/单针

　　（6）供电电源：

　　AC 220V ±10% 50/60Hz. 功率：12W

　　不能与未加稳压滤波的大功率、高频设备共用电源

　　（7）使用环境：

　　温度：23±2℃ 相对温度：≤65%

　　无较强的电场干扰，无强光直接照射

　　（8）重量、体积：

　　主机重量：7.5Kg

　　体积：390×340×190（单位：mm 长度×宽度×高度）

KDY两探针测试系统测试界面