激光对准仪 FPSTA-11D-ALI-MET

这款激光对准仪是激光准直仪,光束准直仪和光束对准仪器,以精que到0.1μm的分辨率实时测量光束位置和角位移,同时显示功率,用于连续激光准直对准。

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激光对准仪主要应用

　　1.激光对准仪检查滑轨误差

激光对准仪以高精度测量机械装置的公差和误差。激光对准仪探头安装在一个行进托架上，用一个激光器同时对准探测器来确定平直光路。托架沿着滑轨移动，激光对准仪测量两轴线上垂直于运动方向的光束位置和角度变化。位置和角度读数的任何变化都是测量的滑轨或轴承，或是两者上都存在的缺陷,畸变或形变。

　　2. 激光对准仪检测准直

　　使用激光对准仪可以测得光束相对于外箱或外管的漂移，可用于校对激光束想相对于激光外壳的位置。同时还可以监测光束功率波动。同时使用位置和角度的屏幕，可以轻易地跟踪光束，同时图表功能项会一直记录和储存数据。

　　3. 激光对准仪铰接臂的对准

　　4. 激光对准仪激光器和激光管的对准

　　5. 激光对准仪对准晶圆检测的激光系统

激光对准仪特点

　　同时测量光束位置,角位移,功率

　　提供Active组件植入用户的软件

　　提供两种不同的PSD（位置灵敏探测器）

　　有多个设备操作功能

　　数据通过RS232接口直接记录到Excel文件中

激光对准仪常规参数

激光对准仪探头是两个PSD,分束器和透镜组件组成

　　（*）为了充分保证标定精度,可能必须使用中兴密度滤波片ND来操作过超过1mW /PSD@633nm的光束

激光对准仪规格一 （型号为50)

　　透镜焦距长度 50mm

　　位置分辨率 50Hz数字滤波器+平均，高清到0.1μM

　　定位精度 ±15μm 边缘到边缘（±8μm）

　　角度测量范围 180 mRad (90 mRad)

　　角分辨率 0.02 mRad (0.01 mRad)

　　测角精度 0.5 mRad边缘到边缘（0.01 mRad）

　　重量 140 Gr，不包括电缆

激光对准仪规格二 （型号为100)

　　透镜焦距长度 100mm

　　位置分辨率 50Hz数字滤波器+平均，高清到0.1μM

　　定位精度 ±15μm 边缘到边缘（±8μm）

　　角度测量范围 80 mRad (40 mRad)

　　角分辨率为 0.01 mRad (0.006 mRad)

　　测角精度 0.25 mRad边缘到边缘（0.15 mRad）

　　重量 180 Gr，不包括电缆

　　注：所有的值（在括号中）都是44mm PSD版本的值

激光对准仪测量能力

　　位置

　　实时显示，Y光束质心。

　　主要功能：设置相对中心，执行缩放，警告设置，平均。

　　角度

　　实时测量光束角偏差。

　　主要功能：设置相对中心，执行缩放，警告设置，平均。

　　数字

　　以大号数字显示显示位置或角度，方便从远距离查看。

　　图表

　　随时间显示、Y位置，或、Y角的变化，有自动缩放和保存选项。

　　功率

　　由模拟和数字显示器显示功率。

　　主要特点：改变测量单元，加载滤波器文件，抑制环境光。显示每个PSD的功率。

　　功率图

　　随时间显示功率变化，用于位置传感器和角度传感器，具有自动缩放和保存选项。

　　zui低的软件和硬件要求：

　　奔腾4，2.4GHz，512MB 内存，15MB 硬盘，1×CD ROM、VGA 8MB 1024x768分辨率，16位，1个USB 2.0端口，Windows P / 7