联系人：陈经理
邮箱：info@f-lab.cn
电话：13820163359
地址： 上海浦东新区上海自由贸易试验区德堡路38号2幢楼三层
| 品牌 |
孚光精仪 |
型号 |
手动探针台 |
| 货号 |
无 |
材质 |
无 |
| 规格 |
/ |
重量 |
20 |
| 加工定制 |
否 |
是否进口 |
是 |
这款手动探针台适合150mm尺寸晶圆测试,是经济型探针台但是具有昂贵探针台的良好参数性能，结构紧凑而方便使用,非常适合实验室半导体器件测试和电路测试应用。
手动探针台适合特色
手动操作样品台，行程范围100mm x 100mm 或150mm x 150mm可选
加载或卸载晶圆非常方便
传统的粗调和微调台板设计,范围12.7mm, 25mm或40mm可选
光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空
高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数3.5~180
带有相机接口
两侧带有连接接口,适合连接微,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头
标准的YZ三维位移台显微镜
可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等
手动探针台适合规格参数
适合晶圆大小：150mm (其它尺寸可提供）
Y位移台： 行程范围100mm x 100mm 或150mm x 150mm可选，分辨率3um
台板行程：12.7mm 或更大，
台板调整：带有粗调和微调功能,重复精度+/-1.5um
台板平面度：<+/-12.7um @150mm长度, 可选<+/-5um
台板刚度： <5um @4.5kg
样品卡盘规格
真空：3区真空
平面度：+/-13um (可选+/-3um)
击穿电压：500V
隔离度：1G欧姆
调整：360度粗调， +/-6度微调
Z轴微调：10mm, 1um分辨率
显微镜：高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围3.5~180
电学接头：BNC, Triax, RF, Banana插头
安装要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动Y升级位移台）
13820163359