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| 型号 |
smarpod |
加工定制 |
是 |
| 功能 |
位置伺服 |
驱动元件类型 |
机电 |
| 控制方式 |
闭环 |
产地 |
www.felles.cn/dingwei1.html |
| 厂家 |
www.felles.cn/dingwei1.html |
|
六轴并联位移台110.45采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。六轴并联位移台110.45采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
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六轴并联位移台110.45规格参数分辨率<1nm
zui大负载：500g (5N)
zui大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根据用户要求）
zui大垂直载荷Fv:5N zui大水平力Fh:2.5N定位Qi尺寸:? 110 x 45 mm3重量:约400克行程范围：x- 20 mmy -20 mmz -11 mm
Θx：21 °
Θy：24°
Θz：38 °带纳米传感器-S闭环最小增量（x，y，z）：1nm最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad重复精度(xyz全行程）：±200 nm重复精度(Θxyz全行程）：±10urad重复精度（1mm行程@xyz)：±15 nm材料和真空可选项目纳米级距离编码传感器非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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