Hybrid Heapod六轴平台,ALIO六轴定位台

　　Hybrid Hexapod六轴平台采用ALIO六轴定位台Hexapod器件,采用与传统6自由度（6-DOF）定位台不同的方法，以极具竞争力的价格展示了更高的性能。

　　Hybrid Hexapod六轴平台结合了精密Y单片工作台、三脚架和连续旋转θ-Z轴，而不是6个独立支腿（和12个连接接头），以提供卓yue的整体性能。这使得传统的六足运动学过时，在精度、路径性能、速度、刚度和更大的工作范围（几乎不受限制的Y行程）以及完全可编程的刀具中心点位置方面有了几个数量级的改进。

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　　Hybrid Hexapod六轴平台具有小于100 nm的三维6轴点精度®可重复性，使其成为激光加工、光学检测、光子学、半导体、计量学和医疗设备领域以及所有微加工项目中关键任务应用的关键技术。

　　传统的六足机器人无法达到亚微米精度，因为它们需要精que协调所有六个轴的运动，以完成运动轮廓，即使这一要求仅适用于简单的单轴运动。此外，尽管人们普遍认为，与串联堆叠的多轴系统相比，Hexapod六轴平台表现出良好的刚度，但这实际上仅限于垂直“z”轴，而在“xy”平面上则存在弱点。

　　Hybrid Hexapod六轴平台Angulares

　　Angulares Hybrid Hexapod®的60度倾斜/倾斜行程是目前市场上任何6自由度（6-DOF）定位Qi所能提供的zui大角度行程范围，并提供与ALIO的所有Hybrid Hexapod系统相同的wu与伦比的定位性能。它非常适合于非球面和自由曲面光学计量、硅光电子封装和探测、激光微处理（非平面基板和锥度控制）、晶圆计量、相机模块对准和组装、传感器/图像稳定测试、光学元件和光纤对准等应用。

　　Hybrid Hexapod六轴平台Angulares具有精密交叉滚柱轴承导轨、所有轴上的光学增量或绝dui编码器反馈、直线电机和/或伺服滚珠丝杠驱动器、无限可编程刀具中心点位置和坐标偏移，以及所有轴上的零齿隙。该设计使角度zui大的M能够无限的Y行程，Z行程为62毫米，使用其他三脚架模型可以增加到208毫米，倾斜/倾斜行程为60度（+/-30度），连续360度θ-Z，YZ双向重复性小于+/-0.6弧秒，速度高达100毫米/秒Y和Z，小于10纳米的线性和0.1弧秒的角度最小增量运动。

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