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这款YZ压电扫描台Piezo scanning Stage是为纳米压电扫描定位设计的三维压电扫描台和纳米电扫描台,广泛用于扫描探针显微镜压电扫描,原子力显微镜压电扫描和微纳操作,非常在开放和闭环系统中的光学元件压电扫描定位和扫描探针压电扫描应用。
YZ压电扫描台活动的中心部件挂在柔性弹簧上，由压电驱动器驱动，确保了应用的高刚度和高稳定性。YZ压电扫描台的设计为运动提供了的线性和平整度,与经典的采用压电陶瓷管的压电扫描台相比具有更高机械强度。
YZ压电扫描台配备了电容位移传感器，包括在数字反馈链系统内，进行数字闭环控制。它提供了高精度和线性运动，消除了对压电陶瓷的蠕变效应。测量电容传感器的TDC芯片（时间数字转换器），安装柱离传感器最近的位置，发出电子信号与测量得的电容成正比。这样可以将外部噪音的影响降至，还可以使用长电缆连接到控制器。
YZ压电扫描台特点
即可以用作YZ三维压电扫描台,也可以用于二维压电扫描台
双电容传感器反馈技术
低频噪声电阻
补偿压电陶瓷的蠕变效应
水平方向上扫描位移行程200μm
垂直方向位移行程20μm
超高分辨率为0.1nm
低成本
设计紧凑，重量轻，刚度高
是显微镜应用的理想YZ三维压电扫描台
通用性强
具有真空版本的YZ三维压电扫描台
YZ压电扫描台应用
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
电子学应用
微操作等
YZ压电扫描台规格
运动特性
主动轴 Y(Z)
Y运动范围 200 x 200μm
Z轴运动距离 20μm
分辨率（闭环） 1nm
分辨率（开环） 0.1nm
整范围内的角度倾斜 ＜0.01°
扫描速度 10Hz
控制性能
Y轴电容量 30pF
Z轴电容量 35pF
机械性能
谐振频率Z轴 30KHz
谐振频率Y轴 1KHz
负载能力 100g
操作温度范围 - 40~80°C
尺寸 100x100x33mm
材料 铝
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