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这款平面平行纳米压电扫描台Nano Piezo Scanning Stage是为纳米扫描和纳米定位扫描设计的平行平面压电纳米扫描器,广泛用于在开放或闭环系统中光学元件纳米定位扫描和扫描探针器件的扫描纳米定位应用。纳米压电扫描台配备了电容位移传感器，进行数字闭环控制。它提供了高精度和线性运动，消除了对压电陶瓷的蠕变效应。其电容测量部分是基于TDC（时间数字转换器），所有的电子元件安装在离传感器最近的位置。该种设计降低了噪音，实现了高速位移控制。
平面平行纳米压电扫描台特点
双电容传感器反馈技术
低频噪声电阻
补偿压电陶瓷的蠕变效应
扫描行程是40μm
超高分辨率为0.1nm
设计紧凑，重量轻，刚度高
适用于通用应用
显微镜应用的理想扫描台
还提供真空纳米压电扫描台
平面平行纳米压电扫描台中心活动部件挂在柔性弹簧上,由压电驱动器驱动，确保了应用的高刚度和高稳定性。纳米压电扫描台为运动提供了的线性和平整度，与经典的采用压电陶瓷管扫描台相比,可步进可提供球形扫描面，还具有更高机械强度。
纳米压电扫描台使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000，或是NSpec软件控制纳米压电扫描器。
平面平行纳米压电扫描台应用包括：
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
微电子学应用
微操作等。
平面平行纳米压电扫描台规格
运动特性
主动轴 YZ
Y运动范围 40x40μm
Z轴运动距离 5μm
谐振频率Z轴 50KHz
谐振频率Y轴 5KHz
分辨率（闭环） 1nm
分辨率（开环） 0.1nm
整范围内的角度倾斜 ＜0.01°
扫描速度 50Hz
负载能力 50g
操作温度范围 - 40~80°C
尺寸 70 x 62 x 32.2mm
材料 铝
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