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这款Y纳米位移扫描台是平行平面的二维纳米扫描位移台和纳米定位台,非常适合用作共聚焦显微镜纳米位扫描定位和扫描探针显微镜位移定位,也可用于纳米传感器获取纳米位移位置尺度数据的应用。
Y纳米位移扫描台采用单片金属体铝合金制成,对应压电陶瓷激励器和驱动部分采用了EDM导线腐蚀和其它精密加工方法构建,与传统的压电陶瓷管的纳米扫描台(扫描面位于球面)相比,这种设计使得纳米扫描台具有良好的直线度和平面度。
这款Y纳米位移扫描台的所有轴都配备了电容位移传感器,包括在数字反馈链内。它提供了高精度和线性运动,消除了压电陶瓷漂移(蠕变)的影响。Y纳米位移扫描台测量部分采用TDC(时间数字转换器),安装在离传感器最近的位置,从而可以立刻发出与测量电容成正比的数字信号,限度地减少了外部电磁噪声的影响,方便用于使用较长电线连接扫描台和控制器。
这款平面平行Y纳米位移扫描台使用通用的控制器8NSC-3061和软件NSpec控制8NTS-01Y纳米位移台。
实际上,Y纳米位移扫描台8NTS-01Y还可以与SPM控制器8NSC-3061和通用软件NSpec组成完整的纳米扫描台及其数据采集和可视化系统,成为所有扫描显微镜的“核心”部分,帮助用户“自制”扫描显微镜系统。还可以用于自制物理信号纳米传感器获取信号在纳米尺度的分布。
Y纳米位移扫描台控制器8NSC-3061可控制SPM扫描探针显微镜或共聚焦显微镜,配套的控制器可从纳米扫描台传感器和外部设备采集数据,将控制电压应用到扫描台压电激励器上,通过计算机还可以可视化和进一步处理,控制信号由计算器传输到控制器,方便控制调整所有系统参数。
Y纳米位移扫描台控制器8NSC-3061是闭环反馈系统,基于高质量的20位TDC(时间数字转换器)来测量电容位移传感器。任何可用的系统信号据,将控制电压应用到扫描台压电激励器上,通过计算机还可以可视化和进一步处理,控制信号由计算器传输到控制器,方便控制调整所有系统参数。
Y纳米位移扫描台控制器8NSC-3061(SPM控制器)具有2通道锁相放大器来提供共振SPM技术,例如非接触SPM扫描模式。锁相放大器中包括基于数字频率合成器的高稳定电压发生器,采用可编程逻辑PLIS电路实现高速数据处理,可以在1.5MHz带宽时进行高质量锁定。
平面平行纳米扫描台控制器8NSC-3061配置了12个通道的麦芽通道步进电机控制扫描台和扫描头,并可选配微调功能。
Y纳米位移扫描台控制器有外部模拟输入和输出接口用于连接外部设备,方便同步输入输出,通过USB接口连接到PC工作站。
纳米扫描台配备了通用软件Nspec,具有广泛处理数据能力,不仅支持现代SPM技术,还可以在不同的操作系统下运行。
Y纳米位移扫描台规格
Y扫描范围 100x100μm
最小扫描步进 0.1nm
整范围内的角度倾斜 <0.001°
扫描速度 10Hz(行/秒)
样品载重 100g
Y谐振频率 1kHz
非线性残余 ≤0.03%
传感器类型 电容传感器
内置TDC时间数字转换器: 24位