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纳米SL系列是德国smaract纳米线性产品中尺寸较小的纳米定位台,非常适合各种空间布局有限的纳米定位应用。
纳米SL系列规格参数
| 型号 | SL-0610 | SL-0620 | SL-0630 |
| 分辨率 | <50nm | <50nm | <50nm |
| 负载 | 3N(100g) | 1N(100g) | 1N(100g) |
| 适合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
| 行程范围 | ± 2.25 (4.5) mm | ± 5.5 (11) mm | ± 8 (16) mm |
| 步进1 | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm |
| 扫描分辨率 | 50 nm | 50 nm | 50 nm |
| 速度 | >15mm/s | >15mm/s | >15mm/s |
| 频率 | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz |
| 阻尼力Fb | >1.6N | >1.6N | >1.6N |
| 正向力Fn | 1N | 1N | 1N |
| 升力Fl | 0.35N | 0.35N | 0.35N |
| 尺寸 | 11x11x5.2 mm3 | 21 x 11 x 5.2 mm3 | 31 x 11 x 5.2 mm3 |
| 重量 | 约3g | 约6g | 约9g |
| pitch俯仰力矩Mp | 0.1Nm | 0.1Nm | 0.1Nm |
| yaw偏航力矩My | 0.1Nm | 0.1Nm | 0.1Nm |
| roll扭转力矩Mr | 0.1Nm | 0.1Nm | 0.1Nm |
纳米SL系列可选项目
真空度兼容可选
-HV (10-6 mbar), UHV / UHVT (10-11 mbar)
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