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| 型号 |
FPMVP-MVP900 |
测量范围 |
1 |
| 激光波长 |
635 |
电源 |
380 |
| 加工定制 |
是 |
重量 |
178 |
| 厂家 |
www.felles.cn/aoi.html |
|
大型自动光学检测系统AOI是为14''晶圆光学检测设计的自动光学检测机器,非常适合微电子与半导体检测,自动光学检测晶圆、芯片、引线键合等。
大型自动光学检测系统AOI的900系列是一个模块化AOI检查平台,提供一系列先进的光学和操控性
(上述价格不一定准确，请您联系我们获得准确报价）
解决方案包括3D、高分辨率成像和quad彩色照明。摄像头和光学系统可扩展到分辨率低于1微米。此外，一系列可定制物料搬运配置包括…在内刀库处理、带钢处理、托盘处理和晶圆处理。
大型自动光学检测系统AOI非常适合晶片、芯片和引线、键合检查等。提供自动检查和校准功能,适合半导体和微电子领域的测量解决方案。
大型自动光学检测系统AOI平台提供zui高的分辨率,2D和3D功能和光学,微电子、包装和三坐标测量功能。
大型自动光学检测系统AOI使用高分辨率3D系统、12MP分辨率摄像头、多层照明和多通道技术。
大型自动光学检测系统AOI特点
满足100级超净间标准 （请联系我们确认）
较高测量能力，较大吞吐量
高分辨率3D检测，微光学物镜,
100-300mm晶圆
引线键合检测
网页上的价格是参考价格，未必准确，准确的价格信息请联系我们索取。
大型自动光学检测系统AOI规格参数
| 型号 | MVP900 | +LP7 | +LP15 | +Micro |
| 检测能力 | 晶圆,切片晶圆,引线键合,引线框架,微电子,3D粘贴,焊剂,保形,环氧树脂,胶水,RF, BGA, CMM,模具、表面检查、陶瓷、厚膜、汽车等 | |||
| 编程速度 | 增强的工具，允许您使用或不借助CAD生成程序 | |||
| 和Y运动系统 | 精密Y位移台具有0.5微米的定位精度 | |||
| 光学分辨率 | 0.3~5um可选择（请您订购时选择确定分辨率） | |||
| 光学相机 | 分辨率2500万像素或1200万像素可选 | |||
| 光学照明 | 白光或Quad彩色照明 | |||
| 3D测量原理 | 3D光源照明 | 激光轮廓仪 | 激光轮廓仪 | 微观测量 |
| 3D速度 |
| 0.5cm/s | 2.4cm/s | 由应用决定 |
| 3D传感器
Y分辨率
|
| 2.5um | 5um | 250-350nm |
| 3D传感器
Z重复精度
|
| 0.3um | 0.4um | 0.5um |
| zui大零件高度 | 35mm | 35mm | 35mm | 35mm |
| 计算机 | 多线程高级计算机，配置不低于1TB SSD硬盘，32-256G内存，Linux系统 | |||
| 检测的外部尺寸 | 355mm x 355mm (14'') | |||
| 片厚 | 0.01-12.5mm | |||
| 外形尺寸 | W844mm x D1066mm x H1473mm | |||
| 传送带长度 | 850mm | |||
| 供电要求 | 208-240VAC,10A, 50/60Hz | |||
| 重量 | 680kg | |||
| 符合标准 | S2/S8, CE | |||
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