联系人：陈经理
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| 型号 |
FPE-MX20 |
工作原理 |
激光测厚仪 |
| 测量范围 |
0.0001-20 |
显示方式 |
数字 |
| 电源电压 |
220 |
加工定制 |
是 |
| 重量 |
25 |
产地 |
www.felles.cn/qiaoqudu.html |
| 厂家 |
www.felles.cn/qiaoqudu.html |
|
晶圆翘曲度厚度测试仪是为晶圆翘曲度测量和晶圆厚度测量设计的晶圆厚度翘曲度测量仪器。
晶圆翘曲度厚度测试仪应用
晶圆来料检测
晶圆研发和质量控制
标准厚度型号
| 型号 | 晶圆 直径 | 传感器计数 | 可测厚度范围 | 精度 | 分辨率 | 测量指标 |
| M 203-4-21 | 2", 3", 4" | 5, 13, 21 | 200 - 800μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 203-6-33 | 4", 5", 6" | 17, 25, 33 | 300 - 900μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 203-8-37 | 6", 8" | 21, 37 | 400 - 1000μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 204-8-37 | 6", 8" | 21, 37 | 400 - 900μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 2012 | 12" | 69 | 500 - 1000μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 2012-H | 12" | 69 | 500 - 900μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
背面研磨型
| 型号 | 晶圆直径 | 传感器计数 | 可测厚度范围 | 精度 | 分辨率 | 测量指标 |
| M 203-6-33-B | 4", 5", 6" | 17, 25, 33 | 100 - 700μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 203-8-37-B | 6", 8" | 21, 37 | 200 - 700μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 203-58-37 | 5", 6", 8" | 13, 21, 37 | 200 - 800μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 203-8-49-B | 4", 5", 6", 8" | 17, 25, 33, 49 | 150 - 650μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 204-8-37-B | 6", 8" | 21, 37 | 200 - 700μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 204-6-13-V | 5", 6" | 5, 13 | 100 - 700μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 204-8-21-V | 6", 8" | 13, 21 | 100 - 700μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 2013 | 8", 12" | 21, 37 | 100 - 750μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
高阻抗率
| 型号 | 晶圆直径 | 传感器数 | 厚度范围 | 精度 | 分辨率 | 测量指标 |
| M 203-4-37-Q | 2", 3", 4" | 21, 37 | 300 - 800μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV |
| M 203-6-33-Q | 3", 4", 5", 6" | 9, 13, 21, 33 | 300 - 800μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV |
太阳能领域
| 型号 | 可容纳晶圆尺寸 | 传感器数 | 厚度范围 | 精度 | 分辨率 | 测量指标 |
| M 203-6-41-q | 100x100, 125x125, 156x156 | 21, 33, 41 | 160 - 700μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 204-8-25-q | 125x125, 156x156 | 17, 25 | 150 - 600μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| M 204-8-49-q | 125x125, 156x156 | 25, 49 | 100 - 600μm | 1μm | 0.1μm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
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