联系人：陈经理
邮箱：info@f-lab.cn
电话：13820163359
地址： 上海浦东新区上海自由贸易试验区德堡路38号2幢楼三层
| 型号 |
FP-CLSM |
安装方式 |
台式 |
| 放大倍数 |
40-1000X |
重量 |
55 |
| 厂家 |
www.felles.cn/lunkuoyi.html |
|
这款高速共焦激光扫描显微镜（CLSM），用于可靠的三维（3D）测量。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现了实时共焦显微图像,广泛用于微纳尺度的台阶高度测量，宽度测量,长度测量等。广泛用于半导体晶片、平板产品、MEMS器件、玻璃基板、材料表面等微观三维结构的测量和检测。
(上述价格不准确，请您联系我们获得准确报价）
高速共焦激光扫描显微镜特点
-高分辨率无损光学三维测量
-实时共焦成像
-各种光学变焦
-同时亮场和共焦成像
-具有精细自动聚焦的自动增益搜索
-倾斜补偿
-简易分析模式
-精密可靠的高速测高
-通过半透明基板检查特征
-无样品制备
-宽范围检测的图像拼接
高速共焦激光扫描显微镜应用
这款共焦显微镜可以测量微纳结构的高度，宽度，角度，面积，体积，比如?
半导体领域：IC图案、凸起高度、线环高度，缺陷检查，CMP工艺
FPD产品：触摸屏检查，ITO图案，LCD列间隔高度
MEMS设备–结构的三维轮廓，表面粗糙度,MEMS图形
玻璃表面-薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图形
材料研究-工装表面检查，糙度、裂纹分析
高速共焦激光扫描显微镜规格参数
| 规格 | 显微镜 | NS-3500 | Remark | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 控制器 | NS-3500E | ||||||
| 物镜倍数 | 10× | 20× | 50× | 100× | 150× |
| |
| 观察 /测量范围 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | 93 | |
| 竖直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | 70 | ||
| 工作距离: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | 0.2 | ||
| 竖直孔径 (N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | 0.95 | ||
| 光学放大 | ×1 ~ ×6 |
| |||||
| 总放大 | 178× ~ 26700× |
| |||||
| 观察/测量的光学系统 | 小孔Pinhole共聚焦光学系统 |
| |||||
| 高度测量（台阶模式） | 测量扫描范围 | Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800-L] | Note 1 | ||||
| Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800-D | |||||||
| Fine scan : 200 μm (or) Long scan : 10 mm [NS-3800-T] | |||||||
| 显示分辨率 | 0.001 μm |
| |||||
| 重复精度 σ | 0.010 μm | Note 2 | |||||
| 宽度测量 | 显示分辨率 | 0.001 μm |
| ||||
| 重复精度3σ | 0.02 μm | Note 3 | |||||
| 帧内存 | 像素计数 | 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96 |
| ||||
| 共聚焦图像图像 | 12 bit |
| |||||
| 彩色图像 | 8-bit for RGB each |
| |||||
| 高度测量 | 16 bit |
| |||||
| 帧频 | 表面扫描 | 20 Hz to 160 Hz |
| ||||
| 线扫描 | ~8 kHz |
| |||||
| 自动功能 | 自动聚焦 |
| |||||
| 光束光源 | 波长 | Violet laser, 405 nm |
| ||||
| 输出 | ~2 mW |
| |||||
| 激光光源 | Class 3b |
| |||||
| 激光探测器 | PMT (photomultiplier tube) |
| |||||
| 数据处理 | Dedicated PC |
| |||||
| 供电要求 | 供电要求 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
| ||||
| 电流消耗 | 500 VA max. |
| |||||
| 重量 | 显微镜 | Approx. ~ 8 kg |
| ||||
| 控制器 | ~8 kg |
| |||||
Note 1 :
Fine scan is performed by piezoelectric actuator (PZT).
Dual scan mode by fine and long scanner is available only for single lens type.
Note 2 :
100 times measurement of standard sample (1μm step height) with 100× / 0.95 objective.
Note 3 :
100 times measurement of standard sample (5μm pitch) with 100× / 0.95 objective.
13820163359