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| 品牌 |
辅光精密仪器（上海）有限公司 |
型号 |
FPSTA-8NTS-XYZ-200-A |
| 货号 |
FPSTA-8NTS-XYZ-200-A |
材质 |
铝合金 |
这款三维中空压电扫描台是为压电扫描定位设计的YZ中空压电扫描平台和三维中空压电定位台,广泛用于扫描探针显微镜压电扫描,原子力显微镜压电扫描和微纳操作,非常在开放和闭环系统中的光学元件压电扫描定位和扫描探针压电扫描应用。
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三维中空压电扫描台活动的中心部件挂在柔性弹簧上，由压电驱动器驱动，确保了应用的高刚度和高稳定性。三维中空压电扫描台的设计为运动提供了zhuo越的线性和平整度，与经典的采用压电陶瓷管的压电扫描台相比具有更高机械强度。
三维中空压电扫描台配备了电容位移传感器，包括在数字反馈链系统内，进行数字闭环控制。它提供了高精度和线性运动，消除了对压电陶瓷的蠕变效应。测量电容传感器的TDC芯片（时间数字转换器），安装柱离传感器最近的位置，发出电子信号与测量得的电容成正比。这样可以将外部噪音的影响降至zui低，还可以使用长电缆连接到控制器。
三维中空压电扫描台特点
双电容传感器反馈技术
低频噪声电阻
补偿压电陶瓷的蠕变效应
水平方向上扫描位移行程200μM
垂直方向位移行程20μM
超高分辨率，为0.1nm
中空孔径高达45mm
低成本
设计紧凑，重量轻，刚度高
是显微镜应用的理想中空压电扫描台
通用性强
具有真空压电扫描台型号
三维中空压电扫描台应用
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
电子学应用
微操作等。
三维中空压电扫描台产品规格
运动特性
主动轴 YZ
Y运动范围 200 x 200μm
Z轴运动距离 20μm
分辨率（闭环） 1nm
分辨率（开环） 0.1nm
整范围内的角度倾斜 ＜0.01°
zui大扫描速度 10Hz
控制性能
Y轴电容量 10pF
Z轴电容量 10pF
机械性能
中空通孔直径 45mm
谐振频率Z轴 3KHz
谐振频率Y轴 1KHz
负载能力 100g
操作温度范围 - 40~80°C
尺寸 100x100x35mm
材料 铝
13820163359